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小型勻膠機英文SPIN COATE 或者SPIN PROCESSOR ,又稱甩膠機，勻膠臺，旋轉(zhuǎn)涂膜儀，旋涂儀。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。